半导体设备即主要应用于半导体制造和封测流程的设备。半导体设备行业是半导体制造的基石,是半导体行业的基础和核心。
从产业链来看,半导体设备的上游主要是单晶硅片制造以及IC设计,下游则主要为IC封测。根据半导体设备在IC制造中应用的场景不同,一般可以分为氧化炉、涂胶显影设备、光刻机、刻蚀机、离子注入机、清洗设备、质量/电学检测设备、CMP设备、CVD设备和PVD设备等。
从政策环境上来看,我国对于半导体设备行业较为重视。其主要表现在对于整个IC产业链企业的政策优待以及对于半导体设备行业的相关规划与推动。
其中较为突出的是《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》项目(02专项),其以专项的形式组织了一批国内半导体设备公司进行了一系列重点工艺和技术的攻关,有效促进了我国半导体设备行业的发展,使得我国半导体设备行业涌现出了一批拥有竞争力的。
的半导体设备制造商主要分布在美国、荷兰、日本等地。其中,美国的等离子刻蚀设备、离子注入机、薄膜沉积设备、检测设备、测试设备、表面处理设备等设备的制造技术位于世界前列;荷兰则是凭借ASML的光刻机在处于地位;在刻蚀设备、晶圆清洗设备、检测设备、测试设备、氧化设备等方。