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:度发生变化的耐蚀刻涂层材料,主要应用于集成电路、半导体器件及光电子领域等光电信息产业中。光刻胶一般由感光树脂、增感剂和溶剂三个成分混合而成,其中光敏树脂是其主要成分。按曝光前后光刻胶膜溶解性质的变化又可分为正型光刻胶和负型光刻胶。所谓正胶是指在光刻工艺中,涂层经曝光、显影后,曝光部分在显影。”
行业动态:2021年2月13日,日本福岛东部海域发生了7.3级地震,影响最为严重的是信越化学,直接停止了福岛工厂的生产,其光刻胶产品占据整个行业13%以上的市场份额。
根据集微网消息,由于地震原因,信越化学KrF光刻胶产线受到很大程度的破坏,至今尚未完全恢复生产,由此导致中国大陆多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张,部分中小晶圆厂KrF光刻胶甚至出现断供问题。
1、光刻胶是光刻工艺的“粮食”,我国高端领域受制于人光刻胶又叫光致抗蚀剂,是通过紫外光、电子束、X射线、离子束等照射或辐射,使树脂的溶解度发生变化的耐蚀刻涂层材料,主要应用于集成电路、半导体器件及光电子领域等光电信息产业中。
光刻胶一般由感光树脂、增感剂和溶剂三个成分混合而成,其中光敏树脂是其主要成分。
所谓正胶是指在光刻工艺中,涂层经曝光、显影后,曝光部分在显影液中溶解而未曝光部分保留下来形成图案的光刻胶;而负胶则相反,被溶解的是未曝光部。