一般低熔点金属附着层是不易擦掉的，必须加氧化铈或氧化铁抛光粉，进行抛光后才能擦掉，电极的清理，直读光谱分析过程中使用的电极，根据分析材质的不同，使用钨电极作为激发电极，在分析激发一次后，一般用管状钨丝刷轻轻刷下电极尖上的金属粉末，在使用一段时间，电极的附着物增加，影响分析间隙距离的变化，这时候需要清理一下钨电极，钨电极一般硬度大，用700号金相研磨砂纸，轻轻抛光一下表面层，清理完毕后，要量准分析间隙的距离。
直读光谱仪聚光透镜的清理，但长期使用聚光镜会受到污染，其外表面附着一层茶褐色物质，时间越长，沉积越厚，可使元素的工作曲线斜率降低，分析灵敏度也下降，分析误差增大，所以必需定期清理制度，多少时间清理一次，要看分析工作任务的多少，一般10—30天清理一次好，具体清理办法如下：，清洗后，上好极盖板，装上清理好的电极，定好分析间隙的距离，用定距规，冲洗数分钟，空烧激发试样几次，直至激发斑点呈凝聚放电为止。
一个重叠区域(小1mm),而且试样表面应是均匀的、平整、纹理一致，试样表面要干净不要被污染如用手触摸，试样表面不能有砂眼、气孔、裂纹等缺陷，试样中硫元素含量不能过高，我们在实践中发现当试样中硫元素大于2%,光谱仪便无法正常分析，因为硫在燃烧过程中形成硫化铁、硫化锰等化合物,影响试样进一步激发,从而导致激发不良，如果知道要停电先将光谱仪关掉，关掉仪器后再开机需要先稳定4-6小时，再使用，必须重新描迹。
